净化车间之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度以及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为净化车间。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的影响,所以在光学构造产品的生产上,净化车间无尘是必然的要求。
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。
无尘车间工程主要包括无尘车间设计、施工和运行管理前后相关的三个环节。质量源于设计,设计是核心。而净化工程的施工又区别于一般的建筑工程,包括围护结构(俗称“房中房”);空调净化系统;供电、自控、弱电系统;纯水、特气、物料供应系统;废气、废水处理系统及相关设施。运行管理包括:实时检测,人员培训,设备维护,以保证受控的生产科研环境持续符合要求。
三个环节涵盖了空态、静态、动态三个占有状态;环境受控又融合了风险评估、生产认证的概念和程序;加之洁净技术跨行业、跨专业、跨学科的特点:使之无尘车间工程的难度和复杂性增加。因此对于无尘车间工程行业来说,优化设计、现场施工环境的协调与管控、工程相关技术细节的经验积累,对客户需求的理解和实现,以及对设计变更的准备和响应程度等都是衡量无尘车间施工团队能力的重要指标。
详细了解客户需求,比如产品工艺对生产环境的要求,温、湿度范围、吊顶高度,若过高则耗能,若过低会给工作人员造 成一种压抑的环境,显然都不合适。吊顶高度根据设备高度及结合洁净厂房设计要求设计。
洁净厂房的隔墙、吊顶材质,一定要保温材料,使建筑外形美观、适用,又要符合国家的节能要求,尽量降低能量消耗。 门窗设计得恰当与否,更是降低洁净厂房建筑能耗的重要课题,必须控制好窗墙比,按洁净室的特点尽量减少外墙上的窗面积;其次是门窗构造的气密性要求和材料选择可靠,以确保门窗的保温(冷)效果和减少冷风渗透,防止“冷桥”现象的发生。