排烟系统在洁净厂房内的设置
随着现代工业的发展，对实验、生产和研究的环境要求越来越高，空气调节技术的内容也越来越广泛，其中对于空气净化的要求越来越多。洁净室对空气中悬浮微粒数量控制要求严格，洁净室被要求尽量做到密闭，以保证有效地阻止室外污染侵入室内（或有效地防止室内污染逸至室外）。洁净室要求房间密闭，不可能再采用一般厂房常用的开窗方式进行排烟，其排烟系统需要可靠的保证。
现行《洁净厂房设计规范》对排烟的规定是要在疏散走道内设机械排烟系统，现行的《建筑设计防火规范》规定丙类厂房中面积大于300m2且可燃物较多的或经常有人停留的房间需设置排烟系统，这些要求在现行的洁净室设计中均能得到良好实施。
送风量大
洁净度的提高和维持是半导体器件厂房空调系统设计和运行的重要任务，这一任务的完成要依赖很高的送风量，是以高能耗为代价的。就送风量而言，一般办公大楼换气次数为10h-1左右，而大规模半导件器件厂房内，为了满足相应的洁净度要求，需要保证很高的换气次数，致使循环风量非常大。100级洁净室的换气次数可选到400h-1，10000级洁净室的换气次数日选到40 h-1，100000级洁净室的换气次数也要30 h-1。
空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器（HEPA） 进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。
优点：构造简单、系统建造成本低，洁净室的扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。
缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。
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