洁净空调系统设计
3.1 洁净冷负荷计算
夏季冷负荷包括:维护结构冷负荷、人员冷负荷、照明冷负荷、生产设备冷负荷、新风冷负荷、风管冷损、空调机组风机负荷等。经计算:100级区域冷负荷指标为880W/m2,1000级冷负荷指标:480W/m2。普通区域(testarea)冷负荷指标:600W/m2(普通区域放置测试设备,发热量较大)。
3.2 100级、1000级洁净房的空调方式洁净房采用FHU+DCU+FFU的空调方式,洁净房空调及气流组织形式见图1。
其中,FHU为新风机组(Freshairhandingu2nit),另外,新风机组对新风采取了初、中、高过滤处理。新风机组包括:初效段,表冷段,中效段,加热段(厂家有热水系统,采用热盘管),加湿段(厂家有蒸气),高段。其中,空气清洗段厂家先要求预留,以后再增加新风机组担负洁净房的湿度控制,保持洁净房的正压和人员新风需求。
净化空调系统组合式空调器安装：
（1）安装前应检查产品合格证，理解安装说明书，熟悉各功能段的安装设置
（2）检查安装基础的强度，坐标位置，大小，标高及水平度，以减少因倾斜引起的运转噪声和振动。
（3）对设备内部进行清洗，擦拭清除尘杂物和油污。检查送回风机是否有杂物，手动旋转叶轮时是否有异响。
（4）检查设备各检修门是否平整，启闭是否正常，密封是否脱落，关门检查箱体是否有漏光，空调允许漏风率不大于2％。
（5）检查设备内表冷器是否有明显损坏，随机配套风量调节是否启闭正常，对表冷器碰歪的翅片应以校正。
（6）空调器送回风风口与风管连接处应采取柔性连接。
（7）设备运转前应检查机内初中效过滤器是否有明显洞孔，松脱。
净化车间之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触的大气的洁净度以及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为净化车间。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的影响，所以在光学构造产品的生产上，净化车间无尘是必然的要求。
每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。5μm及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。
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