(1)室内污染源：建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒释放源，根据具体情况而异，变化很大;
(2)净化工程室内气流流型及分布：单向流要求均匀、平等的流线，但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流;而非单向流要求充混合，避免死角及温度分层;
(3)自净时间(恢复时间)的控制要求：洁净室中事故释放或带入污染物或空气气流的中断或正常操作时的间歇性对流气流或人及设备的移动等都会造成洁净度的恶化，恢复到原来洁净度的自净时间决定于气流速度;对自净时间的控制要求取决于此时间框架内(恶化的洁净度下)，对产品生产的质量及成品率影响的承受能力;
(4)末级过滤器的效率：在一定的室内发尘量下，可采用较效率的过滤器以降低气流速度;为节能应考虑采用较效率的过滤器，洁净室找哪家，并降低气流速度，或采用较低效率的过滤器并采用较高的气流速度，以求流量与阻力的乘积小。
送风量大
洁净度的提高和维持是半导体器件厂房空调系统设计和运行的重要任务，这一任务的完成要依赖很高的送风量，是以高能耗为代价的。就送风量而言，一般办公大楼换气次数为10h-1左右，洁净室施工，而大规模半导件器件厂房内，为了满足相应的洁净度要求，需要保证很高的换气次数，致使循环风量非常大。100级洁净室的换气次数可选到400h-1，10000级洁净室的换气次数日选到40 h-1，100000级洁净室的换气次数也要30 h-1。
净化厂房检测技术标准的采用原则
1. 强制性国家标准是可以选用的标准
强制性的国家标准等同于国家的法规，洁净室多少钱，应该严格地遵守执行。违反强制性的国家标准属于违法。强制性的国家标准中不仅有强制性的条文，还有非强制性的条文。非强制性的条文等同于推荐国家标准。
2.推荐性国家标准是可以选用的标准
推荐性的国家标准可以选用，也可以不用。然而在没有约定的或者没有强制性国家标准的情况下，推荐性的国家标准也具有法律效力，应该遵守执行。法院也可以根据推荐性国家标准判案
3.国家标准是权威的标准
国家标准体现着国家的权威和主权。首先，洁净室，它体现着国家的意志，属于技术法规，应该遵守和执行。行业标准和地方标准不允许违反国家标准，但其技术要求可以高于国家标准；企业标准不允许违反行业标准和地方标准，更不允许违反国家标准，但其技术要求可以高于行业标准和地方标准，当然也可以高于国家标准
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